【主な特徴】

Sirius FPSI 反振動データ取得
振動が多い環境でも信頼性の高い干渉計測を可能にします。

高出力周波数安定化ヘリウムネオンレーザーは 1 時間以内でコヒーレント長が300メートル以上
8時間以内で30 メートル以上あり周波数安定性は8時間で ±0.0001nm に達します。
安定したレーザー光強度により 高速カメラでの迅速な露光取得が可能です。

最高水準の精度と RMS の繰り返し精度。
この装置のRMS単純繰り返し精度と波面繰り返し精度は、国際的な先進水準に達しています。

中空間周波数表現の優れた特性:
厳格な光学設計、HDシリーズおよび FHD シリーズは回折限界の設計です。
HD シリーズでは ITF＞0.7@4.5lp/mm です。
FHD シリーズでは ITF＞0.7@7.5lp/mm です。

すべてのコアコンポーネントは国際的なトップブランドで、優れた性能と品質を誇ります。
大量の位相シフターで数千万回の位相シフトが完了しています。
全工程の光学要素の製造能力は、各レンズの精度を保証します。

幅広いアクセサリーを提供しており、特にtransmission spheresモデルはZygo 社と日本メーカーのものが組み合わされています。

平行光学系、透明な平行面を持つ光学部品、または 2 つ以上の平行面を持つシステムを測定する際、興味のある表面以外からの反射を除去するために短コヒーレントレーザーを使用することが選択肢となります。