これらのモデルは下向き干渉計で、口径は 200mm、150mm、および 100mmです。
これらは平面光学および平面複数ブロックを測定するために設計されています。
垂直ワークステーションにより、水平モデルよりも迅速なピックアンドプレイス測定が可能です。

「M」シリーズのメインフレームはそれぞれ G200、G150、および G100 です。
「MHD」シリーズのメインフレームはそれぞれ G150HD および G100HD です。
これらはすべて水平モデルの特徴を継承しています。「M」シリーズと「MHD」シリーズには Sirius Anti-Vibration メトロロジーソフトウェアが搭載されており 顧客はこのソフトウェアなしでこれらのシリーズを選択することもできます。

「S」シリーズは効率的な光学製造向けの低コストモデルです。
フリンジはモニターに表示され、オペレーターによって観察されます。