PRODUCT
レーザー干渉計販売
FlaTester 平面度測定器シリーズ
機械加工、研磨、ポリッシング、超精密加工のサンプル表面形状を迅速かつ正確に測定します。
現代の精密製造において、全体の表面の平坦度を確認する必要がある場合
単線スキャナーや三次元測定器は測定データが少なすぎるため要求を満たすことができません。
当社の
FlaTester 平面度測定器は、部品の全体表面を数秒で非接触で測定できます。 さまざまなサイズや複雑な形状も測定可能です。
FlaTester の分解能は 5nm、精度は 50nm に達します。
これにより、平坦度、直線性、半径などのさまざまな表面パラメータを迅速かつ正確に測定でき さまざまな材料や表面処理方式に適用できます。
【主な性能】
非接触、非破壊測定
最大 100μm の動的測定範囲
光学的なレベルの分解能と精度
数秒で全表面特性の測定を実現
半導体ウェーハ、LCD マスク、ガラス、金属
複合材料、セラミックスなど、さまざまな材料を測定可能
機械加工面、研磨面、ポリッシュ面、超滑面など
さまざまなタイプの表面に適用可能
【使いやすく学びやすい】
工具や治具を必要とせず、サンプルを設置するだけで測定可能
ソフトウェアの操作が簡単で、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、サンプルの 2D および 3D の輪郭を直感的に表示
測定結果は客観的で、オペレーターの操作による影響を受けにくい
生産現場、品質管理、開発検証など多様な場面に適用可能で
製品の品質向上と直通率の向上に寄与します
| Product Model | FT100 | FT200 | FT300 |
|---|---|---|---|
| Structural Form | Inverted | ||
| Measurement Method | Grazing incidence | ||
| Light Source | Helium-Neon laser (632.8nm) | ||
| Effective Camera Resolution |
1.2K*1.2K | 2K*2K | |
| Effective Aperture | 100mm | 200mm | 300mm |
| Sample Size | 25-100mm | 25-200mm | 50-300mm |
| Measurement Range | ＞100μm | ||
| Accuracy | ＞50nm | ||
| Repeatability | 15nm (standard deviation) | ||
| Measurement Time | 5 seconds | ||
| Measurement Data Points |
Up to 230,000 points | Up to 400,000 points | |
| Measurement Reference: |
Least squares method | ||
| Measurable Materials | Semiconductor wafers, LCD masks, glass, metals, composite materials, ceramics, etc. | ||
| Measurable Surfaces | Machined surfaces, ground surfaces, polished surfaces, ultra-smooth surfaces, etc. | ||
| Sample Reflectivity | R＞10% at an incident angle of 85° | ||
| Sample Roughness | Ra＜1.0μm | ||
| Instrument Dimensions (L x W x H) |
700x260x720mm | 700x340x720mm | 1500x1000x720mm |
| Instrument Weight | 96Kg | 110Kg | 500Kg |
| Power Supply | 100-240VAC，50/60Hz | ||
| Operating Environment Temperature |
15°C - 30°C | ||
| Temperature Variation Rate |
＜1.0°C/30min | ||
| Humidity | Not more than 70% | ||
