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レーザー干渉計販売
G100U・G150U 垂直下向きレーザー干渉計ワークステーション
G100U と G150U は垂直下向き構造で、作業姿勢の試料、加工中の試料 マウントした半球の測定に特に適しています。
垂直下向き構造は、試料の形状、クランプ方法、模擬試料の作業状態によっては
水平や上向き構造よりも有利な場合があります。 例えば、半球ドームの表面形状や曲率半径を研磨ピッチや無応力マウントで測定する場合 下向き構造では半球ドームを水平サンプルホルダーで保持することが難しく
上向き構造ではサンプルの重力や研磨ピッチを支える必要があるため サンプルの変形を引き起こしやすくなります。
オプションのデュアル 5 軸試料台は、透過波面測定と CGH による非球面測定が可能です。
【特徴】
- 生産、品質検査、計測ラボでの光学部品の全開口測定用高精度垂直下向き干渉計システム。
- モーター制御による1mのZステージ移動とパッシブ防振システムを含む統合構造設計。
- 天然花崗岩のガイドプレートは、高精度の平坦度と垂直度を得るために精密研削された後、高精度のリニアガイドと分解能0.5μmのグレーティングスケールが付属しており 曲率半径測定の誤差は0.05%未満であることを保証します。
- シリウス耐振動高速位相シフト干渉計技術(FPSI)、振動が発生しやすい環境で信頼性の高い干渉計を実行します。
| Specification | ||
|---|---|---|
| Model | G100U | G150U |
| Effective Diameter | 101.6 mm (or 4 inches) | 152.4 mm (or 6 inches) |
| Mode of Measurement | Fizeau | |
| Light Source | He-Ne laser (632.8nm) | |
| Camera | Size: 1/1.2", Resolution: 1.2Kx1.2K | |
| Spatial Resolution | Full aperture fringes >300lp | |
| Mode of Measurement | Sirius Anti-Vibration phase shift and Dynamic Mode | |
| RMS Simple repeatability (2σ) | <λ/10000 | |
| RMS Wavefront Repeatability (mean+2σ) | <0.6nm | |
| Zoom | 1-6X Optical | |
| Phase Shift | PZT | |
| Alignment | Two point in the Crosshair, ±3° | |
| Pupil Focus Range | ±2.5m | |
| Transmission Flat | Fused Silica, PV: <λ/20 | |
| Transmission Sphere | Fused Silica, PV: <λ/10 and λ/20 for option | |
| Effective Z-Guide Length | 1000mm, motor drive | |
| Power | AC100-240V 50/60Hz | |
| Dimension (L X W X H) | 700X510X2180mm | 700X510X2320mm |
| Weight | 600KG | 620KG |
100mmと150mm 基準平面と基準球
| Models and Specifications | |||
|---|---|---|---|
| Model | Aperture | Raw material | Accuracy (λ=632.8nm) |
| QY-100-TF | 101.6 mm (4 inches) | Fused Silica | PV≦λ/20 |
| QY-100-RF | 101.6 mm (4 inches) | Glass Ceramics | PV≦λ/20 |
| QY-100-Fxx | 101.6 mm (4 inches) | Fused Silica | PV≦λ/10 and PV≦λ/20 |
| QY-100-TFH | 101.6 mm (4 inches) | Fused Silica | PV≦λ/20 |
| QY-100-FxxH | 101.6 mm (4 inches) | Fused Silica | PV≦λ/10 and PV≦λ/20 |
| QY-150-TF | 152.4 mm (6 inches) | Fused Silica | PV≦λ/20 |
| QY-150-RF | 152.4 mm (6 inches) | Glass Ceramics | PV≦λ/20 |
| QY-150-Fxx | 152.4 mm (6 inches) | Fused Silica | PV≦λ/10 and PV≦λ/20 |
| QY-150-TFH | 152.4 mm (6 inches) | Fused Silica | PV≦λ/20 |
| QY-150-FxxH | 152.4 mm (6 inches) | Fused Silica | PV≦λ/10 and PV≦λ/20 |
透過フラットHiFlect(TFH)と透過球HiFlec(FxxH)
標準トランスミッションフラットおよびトランスミッションスフェアでは、基準面の反射率は4%で 0.4%~40%の反射率のサンプル表面に対応します。
HiFlectコーティングされた基準面は、4%~99%の反射率のサンプル表面に対応します。
透過球
シャインオプティクスでは、Zygo社製と日本メーカー製を組み合わせた透過球を各種取り揃えております。
コネクタはZygo製品と互換性があります。
